Содержание
JSR планирует построить свой первый завод по выпуску фоторезистов на Тайване и работать рядом с TSMC над материалами для передовой литографии. По данным Nikkei Asia, проект оценивают в десятки миллионов долларов, а запуск площадки намечен не раньше 2028 года.
Для рынка это не про «ещё один завод химии». Это про скорость итераций на техпроцессах, где неделя задержки в подборе резиста превращается в месяцы отставания по графику.
Почему JSR понадобилась площадка в Тайване
JSR — второй по величине производитель фоторезистов в Японии и компания, которая контролирует около 20% мирового рынка. При этом она оставалась последней из «большой тройки» без производственной базы на Тайване, где сосредоточена разработка самых передовых техпроцессов.
Два крупнейших японских конкурента JSR уже закрепились рядом с TSMC. Tokyo Ohka Kogyo (TOK) и Shin-Etsu Chemical давно имеют производство на Тайване и ведут разработку резистов в плотной связке с инженерами TSMC.
JSR, по информации Nikkei Asia, создала совместное предприятие с местным партнёром в начале апреля. Цель — локальная поставка и совместная разработка передовых резистов для TSMC.
Фоторезист — расходник, который решает судьбу техпроцесса
Фоторезист — светочувствительный материал, который переносит рисунок схемы на кремниевую пластину во время литографии. На передовых нормах резист настраивают под конкретные экспонирующие установки и под конкретную «химию» травления. И это не разовая настройка, а постоянный обмен образцами и данными.
Сейчас JSR разрабатывает продукты для тайваньских клиентов, отправляя образцы из Японии, США и Бельгии. Nikkei Asia пишет, что один цикл «туда-обратно» занимает недели. Конкуренты с локальными площадками проходят такие итерации заметно быстрее.
Тайваньский завод нужен JSR, чтобы держать инженеров ближе к командам TSMC и сокращать время на доработку формул. Ту же модель совместной работы уже используют TOK и Shin-Etsu.
JSR также рассматривает выпуск на тайваньской площадке других материалов. В частности, абразивов для полировки подложек, которые применяют при выравнивании поверхности в производстве полупроводников.
Параллельно JSR запускает MOR в Южной Корее под EUV
Тайваньский проект идёт параллельно с ещё одной ставкой JSR на следующее поколение литографии. Компания строит в Южной Корее первую в мире производственную площадку масштаба mass production для metal oxide resist (MOR). По данным Nikkei Asia, массовый выпуск планируют начать в этом году.
Корейский завод будет поставлять оловянный MOR для EUV-литографии клиентам уровня Samsung Electronics и SK hynix. MOR лучше поглощает EUV-фотоны, чем классические chemically amplified resists, и это помогает повышать разрешение и снижать число дефектов при формировании рисунка.
JSR купила пионера MOR — компанию Inpria — в 2021 году и с тех пор развивает формулы на основе оксида олова. Nikkei Asia также сообщает, что JSR планирует продвигать MOR и для TSMC, с прицелом на будущие линии EUV и high-NA EUV, которые потребуются на 2 нм и дальше.
Сейчас японские компании в сумме контролируют около 80% мирового рынка фоторезистов и почти полностью доминируют в высоком сегменте для EUV. Китайские производители продвинулись на уровнях KrF и i-line, но их доля на ArF и выше остаётся минимальной.
Тору Кимура, старший офицер JSR и руководитель бизнеса электронных материалов, в разговоре с Nikkei Asia описал позицию компании так: «Chinese players are a threat, but it’ll still be some time before they can catch up with us and take market share».
По данным Nikkei Asia, тайваньский завод JSR по фоторезистам компания рассчитывает вывести на проектную готовность как минимум к 2028 году, а инвестиции в проект составят десятки миллионов долларов.
По материалам Nikkei Asia.
