Содержание
Китайская DUV-литография дошла до серийного выпуска: государственная компания из Шанхая начала производство иммерсионных DUV-сканеров, а первые машины в 2026 году должны получить SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies.
О планах поставок сообщил The Information со ссылкой на двух людей, знакомых с программой. По их данным, в этом году выпустят около пяти машин, а в 2027 году — примерно 20 систем.
Это не моментальная замена ASML. Но для китайской полупроводниковой отрасли это редкий случай, когда речь идет не о лабораторном стенде, а о поставках на реальные фабрики.
Первые DUV-сканеры уйдут на линии SMIC, Hua Hong и CXMT
Первые китайские иммерсионные DUV-сканеры готовят для трех крупных производителей чипов: SMIC, Hua Hong Semiconductor и производителя памяти CXMT. Все три компании уже работают с продвинутыми техпроцессами или памятью, где литография быстро упирается в парк доступных машин.
Производителя The Information не называет. Собеседники издания описали проект как сборную команду из DUV-разработчиков нескольких китайских компаний. Среди них была шанхайская Shanghai Yuliangsheng Technology, стартап с государственной поддержкой.
SMIC тестирует иммерсионный инструмент Yuliangsheng с сентября 2025 года. Это важная деталь: фабрикам мало получить сканер в цех. Его нужно привязать к техпроцессу, проверить стабильность, наладить сервис и поймать приемлемый процент годных кристаллов.
Большую часть компонентов в новых системах делают внутри Китая. При этом часть критических узлов все еще приходит из Японии. Локальные поставщики уже задерживали выпуск в 2026 году, поэтому заявленные пять машин — скорее аккуратная стартовая партия, чем промышленный поток уровня ASML.
Иммерсионная DUV тянет 28 нм сразу и 7 нм через multipatterning
Иммерсионная DUV-литография печатает структуры класса 28 нм за одну экспозицию, а до 7 нм добирается через multipatterning. За это платят сложностью, ошибками наложения слоев и падением выхода годных чипов.
Если грубо, DUV можно заставить делать более тонкие нормы, но фабрика начинает играть в дорогую геометрию. Один слой приходится разбивать на несколько проходов. Каждый проход добавляет риск сдвига маски и снижает маржу, особенно на больших объемах.
Поэтому EUV так ценят в передовом производстве. Глава ASML Christophe Fouquet на июльском звонке с аналитиками сказал, что рост литографической нагрузки в DRAM частично связан с заменой multipatterning на более дешевую однопроходную EUV-экспозицию.
| Параметр | Китайские immersion DUV | ASML immersion DUV |
|---|---|---|
| План выпуска в 2026 году | Около 5 машин | Около 130 машин |
| План на 2027 год | Примерно 20 машин | Рост мощности на 30% |
| Рыночная позиция | Первые серийные поставки | 98,7% рынка immersion DUV по оценке AI Futures Project |
| Ограничения | Квалификация линий, японские узлы, качество сборки | Зависимость поставок от экспортных правил |
И тут начинается трезвая часть истории. AI Futures Project в июне оценивал срок выхода китайской иммерсионной DUV на коммерческий масштаб серединой 2030-х годов. Новый отчет сдвигает картину вперед, но не отменяет месяцы квалификации на фабриках.
Китайская EUV-программа тоже не закрывает вопрос. Reuters в декабре писал о рабочем прототипе, но до серийной EUV-машины остаются годы. Для фабрик SMIC и Hua Hong DUV сейчас выглядит более практичным путем, даже если он дороже в эксплуатации на тонких нормах.
Экспортные правила давят на сервис установленного парка ASML
Регуляторный фон усиливает ценность любого домашнего сканера. Законопроект H.R. 8170 и MATCH Act называют SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei и YMTC ограниченными компаниями. В список первых покупателей китайских DUV входят три компании из этих пяти.
Текст MATCH Act затрагивает не только новые поставки. Он также покрывает сервис и техническую помощь для уже установленных инструментов. Для фабрик это болезненно: литографическая машина без нормального обслуживания быстро превращается из актива в дорогую проблему.
Последние два года китайские фабрики растягивали ресурс установленного парка через апгрейды по вторичным каналам. Домашний DUV-сканер не решает все вопросы качества и выхода годных чипов. Зато он снижает зависимость от сервисного окна, которое может сузиться из-за новых правил.
ASML пока остается в другой лиге по масштабу. CFO компании Roger Dassen на июльском звонке сказал аналитикам, что ASML ожидает поставить около 130 иммерсионных систем в 2026 году, как и в 2025-м. Китай даст около 20% чистых продаж ASML в этом году против 33% в 2025 году, а на 2027 год Dassen озвучил план "увеличить мощность на 30%" для immersion DUV.
